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    特色工艺

SIC
碳化硅器件(Silicon Carbide)

碳化硅质料具有高导热的质料特征，，，，，，可在高温情形下正常运作。。。。。。。 。碳化硅功率器件具有耐高压、高频操作的优势。。。。。。。 。碳化硅器件可改善系统效率、可靠性，，，，，，提升系统功率密度，，，，，，小型化电力电子系统。。。。。。。 。在高可靠性要求的工业应用、高效电力系统、伺服电源及电力汽车等领域，，，，，，碳化硅质料比其他新兴质料更具显着优势并被普遍应用。。。。。。。 。

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PE
Inverter

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Motor Contorl

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Smart Power Grid

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Ship &
Vessels

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Windmills

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UPS

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xEV

碳化硅器件特点

  • 碳化硅肖特基二极管具有高耐压、高导热质料特征，，，，，，具有优异的反向恢复能力，，，，，，可改善功率损失，，，，，，提升系统的效率。。。。。。。 。

  • 碳化硅MOSFET具有高速开关、低导通电阻等特征，，，，，，在电力电子高频应用中，，，，，，可以镌汰导通切换的功率损失，，，，，，提升整系一切效率


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SiC 平台工艺能力

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    高温离子注入

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    金属沉积

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    高温退火

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    激光退火

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    深沟槽SiC刻蚀

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    SiC栅氧

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    SiC晶圆减薄

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    自瞄准短沟道工艺

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    高沟道迁徙率工艺

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    零缺陷筛选工艺

Roadmap

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